美國商業新聞2005年4月4日法國SAINT-JEOIRE消息——合作伙伴SUSS MicroTec和VTT Microelectronics公司宣布他們的新成果：第一個能在步進和重復模式下把熱壓印和冷壓印集合到一個晶圓上的納米壓印微影系統問世。

　　NPS300是一種非常靈活的工具，它既適用于手工裝載機器，又適用于全自動的系統。后者結構包括全自動晶片處理，尺寸可到300毫米，還有自動的模版處理能力，不同的模版可以在同一個晶片上印刷。對微小或納米設備復制實現了高性價比的最優化，SUSS 的NPS300成功的實現了在20納米以下進行熱壓印和冷壓印(UV-NIL)應用的壓印解決方案。如果配置自動校準暴光儀，NPS300能實現250納米的覆蓋準確率，尺寸為100毫米，厚度為6.5納米的印花。

　　SUSS的NPS300產品戰略經理Gilbert Lecarpentier解釋道：“NPS300能提供不同的壓印技術，它是能印刷小于20納米的幾何圖型的一個成本節約型的高頻電子束微影。位于芬蘭的 VTT微電子中心已經演示過熱壓印的步進式轉印這一創造性的方法。這一方法包括通過控制熱量和壓力把壓印圖案轉變成熱塑性壓花。用這些原料和UV硬化，冷壓印應用也可以用到步進和硬化方法中�！�

　　NPS300應用圖案或模版，而不是光學微影，能復制最微小的圖案。應用程式包括完整的光學設備（二極管、光柵、光折射聚合體、后側照明設備等），微電子的微小物質（傳感器、共明器、傳換器），溫度感應器、光、分子、生命科學、也有三維空間復制。

　　除了納米轉印步進機，SUSS公司另外還供應用于晶片冷壓印的雙面光罩標準暴光儀，這種技術的運用，使熱壓印刷能通過用溫度和壓力為控制參數，使用紫外線光，進行感光結合而硬化。

　　我們將在4月12日到4月14日在歐洲半導體展會上100號展臺展示NPS300。

　　關于VTT公司

　　VTT芬蘭技術研法中心是一個研究組織，在歐洲和其他的國家都有研發機構，有2800個員工。VTT為客戶，私人企業，機構和公共部門，提供技術和研發服務。VTT同時通過創造公眾研發知識和積極參與國內外在電子、信息科技、生物科技、納米科技等領域的科技轉化。年產值為2.1億歐元。VTT每年服務 5000多個客戶。

　　關于SUSS MicroTec

　　SUSS MicroTec公司是為半導體工業提供產品、程式和測試技術的領先供應商。SUSS以全球7000多項系統安裝來維持他的主導地位。SUSS產品包括涂層發展系統、1X微縮系統(1XFFL) ，感光結合，設備/晶片焊接器和跟蹤系統。總部在德國慕尼黑，SUSS全球共有880名員工，在北美，歐洲，亞洲和日本提供銷售和服務。SUSS MicroTec AG是一家在德國證券交易所的上市公司。

　　此新聞中的發布不是歷史事實，屬于根據1995年美國私人證券交易改革法所界定的前瞻性聲明。諸如“相信”、“期望”、“預期”、“估計”、“也許”、 “可能”、“將要”、“計劃”等相關措辭只是表示一種預測。公司對向大眾公布的這種預測不承擔更新或更改的責任。所有的預測將會有風險和不確定因素，也許事實會與預測有很大不同。這些預測只是反映當時的一種觀點。